АО «ЦНИТИ «Техномаш» совместно с Российским технологическим университетом (МИРЭА) завершили созданием полного цикла этап НИОКР по теме: «Разработка новых термостойких материалов с низкой диэлектрической проницаемостью для микроэлектроники на основе производных о- и п-ксилиленов, получаемых из соединений бензоциклобутена и циклофана».
http://cniti-technomash.ru/ao-cniti...terialov-s-nizkoj-dijelektricheskoj-pronicae/
разработка фото- и термоотверждаемых композиционных составов на основе производных бензоциклобутена и его сополимеров с циклофаном велась для микроэлектроники и СВЧ- электроники.
Разработаны методики синтеза пяти новых, ранее не описанных производных бензоциклобутена и оборудование для их производства формирование пленок заданной толщины.
Новые фото- и термоотверждаемые материалы могут играть исключительно важную роль для создания:
изоляционных структур в кремниевых, арсенид-галлиевых и керамических устройствах, в том числе СВЧ диапазона;
изоляции мезоструктур (вместо окиси кремния) с низкотемпературным (не более 300ºC-400º C) нанесением;
изоляции лазерных структур в квантовых каскадных лазерах;
изоляционных слоев в многофункциональных высокоплотных электронных модулях, созданных по технологии 3D-микросистем;
полимерных изоляторов для оптронов (в т.ч. с возможностью фотоотверждения), обеспечивающих высокие напряжения пробоя (не менее 3кВ при толщине 0.5 мм);
изоляторов в устройствах микромоторов и микрогенераторов;
многослойных волноводных структур, обеспечивающих сопряжение с оптоэлектронным интерфейсом для оптических входов-выходов «системы на кристалле»;
покрытий высокочастотных печатных плат для телекоммуникаций;
фоторезистов для плазмохимического и ионного травления при получении прецизионных элементов топологии микросхем и коммутационных плат.
Заинтересованность во внедрении разрабатываемых материалов на основе бензоциклобутена выражают АО «Концерн Радиостроения «Вега», АО «ОПТРОН», АО «Государственный Завод «ПУЛЬСАР», ОАО «РТИ имени академика А.Л. Минца», Корпорация «Российские Космические Системы» и др.
Разработанные материалы позволят перейти к производству новой продукции с характеристиками, значительно превосходящими существующие аналоги, улучшить технические характеристики и надежность уже выпускаемых изделий.